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大流量氣體過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003μm,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案
墊圈式設(shè)計確保易于安裝,使其成為 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬限流過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護(hù)敏感氣體成分。
工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片??啥ㄖ苹O(shè)計,靈活適應(yīng)各類安裝空間。
工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?啥ㄖ苹O(shè)計,靈活適應(yīng)各類安裝空間。
工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆?;蛘叽灯鸸杵?啥ㄖ苹O(shè)計,靈活適應(yīng)各類安裝空間。
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